ウェーハ搬送装置  

                               
                                   
 

ウェーハ保持機構
●全ての装置に当社独自のウェーハ保持機構を採用し、ウェーハに全くキズ・ストレスを与えません。
●ウェーハは、垂直に保持します。
●ウェーハエッジの形状によりますが、同じユニットで200〜600μまで共有できます。
 

 
                             
                                   
 

MWC-125A1 全自動 8カセットタイプ
◇半導体ウェーハ製造工程で求められるクリーン度を重視した設計
◇ウェーハにダメージを与えない高精度なハンドリング
◇品種切り替えが容易なシンプル設計
◇ボートへの搭載位置を任意に指定可能
◇オペレーションの自由度アップと安全なインターロック

 

                                   
 
                       

MWC-200S1 1カセット手動置換えタイプ
◇半導体ウェーハ製造工程で求められるクリーン度を重視した設計
◇ウェーハにダメージを与えない高精度なハンドリング
◇品種切り替えが容易なシンプル設計
◇ユーザーのニーズにあわせた設計思想
◇必要機能に絞り操作の簡略化とコストダウンを実現
 

 
 
     
             
                                   

MWC-100M1 ボート移載専用治具
◇ウェーハホルダとボート間のウェーハ移載治具
◇ウェーハホルダには手動でウェーハをセット
◇半導体ウェーハ製造工程で求められるクリーン度を重視した設計
◇ウェーハにダメージを与えない高精度なハンドリング
◇エアー源のみのユーティリティ
 

                                   
 
   
     

     
           
MWC-1220S2 セミオートウェーハスライダー
◇カセット同士のウェーハ移載
◇任意の枚数・位置のウェーハを移載
◇事前登録したメニュー選択により自動的にプッシャーが登録位置に移動
◇過負荷対策を施し、ウェーハにストレスを与えない自動移載
 
       
             
MWC-1220M3 マニュアルウェーハスライダー
◇カセット同士のウェーハ移載
◇カセット着座ミスを防ぐ、着座センサなど、基本機能に特化した廉価タイプ
 
       
                   
                                 

Hirayama Technology INC.