ウェーハ保持機構 ●全ての装置に当社独自のウェーハ保持機構を採用し、ウェーハに全くキズ・ストレスを与えません。 ●ウェーハは、垂直に保持します。 ●ウェーハエッジの形状によりますが、同じユニットで200〜600μまで共有できます。
MWC-125A1 全自動 8カセットタイプ ◇半導体ウェーハ製造工程で求められるクリーン度を重視した設計 ◇ウェーハにダメージを与えない高精度なハンドリング ◇品種切り替えが容易なシンプル設計 ◇ボートへの搭載位置を任意に指定可能 ◇オペレーションの自由度アップと安全なインターロック
MWC-200S1 1カセット手動置換えタイプ ◇半導体ウェーハ製造工程で求められるクリーン度を重視した設計 ◇ウェーハにダメージを与えない高精度なハンドリング ◇品種切り替えが容易なシンプル設計 ◇ユーザーのニーズにあわせた設計思想 ◇必要機能に絞り操作の簡略化とコストダウンを実現
MWC-100M1 ボート移載専用治具 ◇ウェーハホルダとボート間のウェーハ移載治具 ◇ウェーハホルダには手動でウェーハをセット ◇半導体ウェーハ製造工程で求められるクリーン度を重視した設計 ◇ウェーハにダメージを与えない高精度なハンドリング ◇エアー源のみのユーティリティ