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| カスタム装置 |
| WOC-0402A1 枚葉式エッチング＆スピンコーター 4" 5"Wf ◇枚葉処理によるエッチング・リンスステーションとスピンコータをドッキング ◇ウェーハホールド方式のスピンヘッド構造 ◇タッチパネルオペレーション |
| MSC-150A1HC ベーキング付き汎用スピンコータ カセットtoカセット 6"Wf ◇1000□サイズに必要機能を集約したコンパクト設計 ◇３軸ロボット搬送などにより廉価装置 ◇タッチパネルオペレーション |
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【導入実績装置】
☆ 大手装置メーカー既製装置２台を包括するウェーハ搬入・排出装置及びロット品種管理システム。オリフラ・ノッチ
アライメント機能付き。
☆ 大手メーカーとカスタム装置を共同作成。大手メーカー装置にウェーハを反転を含むレシピによる搬入・排出装置。
ロット品種管理はヒラテク担当。
☆ 手動の既製装置をベースに半自動装置に改造。
☆ ２部品をパーツフィーダで供給し、両面テープで接着、回収する装置。
☆ その他各業界の改善治具・装置。
【構想提案装置】
☆ ベルヌーイハンドによる３００mmソリウェーハの反転機能付きソーター。ハンドリング実験済み。FOUP/FOSB
☆ 弊社ウェーハスライダー（MWC-1220S）をベースにＩＤリーダを付加した廉価ソーター。
☆ その他各業界の改善治具・装置多数。
Hirayama
Technology INC.